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快速退火炉引见

公布工夫:2017-11-15-永利娱乐场网址(38404.com)  阅读次数:1936

概述:
    快速退火炉是以碘钨灯管为发烧元件,升温速度快,接纳测温并接纳恍惚PID掌握,具有很下的控温精度〈±5℃〉,快速退火炉具有真空装配,可正在多种氛围下工做。仅仅是退火炉的一个小种类。
技术参数:
1、可正在真空,惰性气体(N2,Ar)情况下停止快速热处理; 
2、样品直径:4英寸; 
3、最高温度:1000℃; 
4、升温速度:100℃/Second; 
5、降温速度:80℃/Second; -永利平台,【07081a.com】
6、温度掌握准确度:±1%; 
7、最低真空度≤5×10-3 Torr; 
8、功率:红外卤素钨灯,1,250 W/ea ×11 lamps; 
9、尺寸:760mm(W) × 400mm(D) × 400mm(H);
主要特点:
1, 腔体Chamber:腔体为镀金工艺,金层有助于热反射匀称;腔体为方形,带有真空和气体端口。 
2,基底固定器 Substrate Holder:4英寸,石英。 
3, 加热器 Heater:11收红外卤素钨灯,水冷。 
4, 真空泵 Pump:份子涡轮泵(TMP),~ 10-6 Torr;旋叶式真空泵,~ 5*10-3 Torr; 
5, 气体模块(包孕质量流量控制器,MFC) Gas Module:气体流量可控;316不锈钢管,主动焊接、电解抛光工艺,VCR接口,液氦检漏到达10E-8 Torr. L/sec.程度。 
6, 掌握模块 Control Module:菜单可编纂,多顺序快速温度掌握及处置惩罚。
维修注意事项:
1. 炉子初次运用或长时间不消后,要正在120℃阁下烘烤1小时,正在300℃阁下烘烤2小时后运用,以避免形成炉膛开裂。炉温只管不要凌驾额定温度,以避免破坏及炉衬。制止背炉膛内间接灌注种种液体及消融金属,连结炉内的干净。
2. 炉膛若接纳石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温局部会泛起不透明征象,这叫失透(又叫析晶性)是连熔石英管的一个固有缺点,属一般征象。
3. 热炉运用时,因为炉膛是热的,须大量吸热,以是高温段升温速度不容易过快,各温度段的降
温速度差异不容易太大,设置升温速度时应充裕思索所烧结质料的物理化学性质,以避免泛起喷料征象,净化炉管。
4. 活期搜检温度控制系统的电器衔接局部的打仗是不是优越,应稀奇注重加热元件的各衔接点的衔接是不是紧固。
5. 炉子运用过一段时间后,若真空度低落,可离别改换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或改换修缮真空体系,以进步体系的整体真空度。
6. 炉子正在事情历程中,一样平常正在300℃阁下若掌握偏向借不克不及消弭,泛起温度显现值取顺序给定值不符或摆动过大,搜检参数“M5、P、t”设置是不是正确。
7. 此炉适用于以下事情前提:
(1)环境温度正在-10~75℃之间。-百年永利官方网站
(2)周围环境的相对湿度不超过85%。
(3)炉子四周没有导电灰尘,爆炸性气体及严峻损坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。
(4)没有显着的倾斜﹑振动和平稳。
应用领域: 
快速热退火 
快速热氧化 
快速热氮化
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散布
化合物半导体退火 
离子注入后退火
电极合金化 
晶背化和脆化